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产品型号:KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
主要用途: 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。
该设备是一款定制的PECVD系统,增加了倾斜、旋转功能。该系统包含等离子射频电源,高温管式炉,4通道质量流量供气系统和分子泵机组。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等,是科研机构和大学实验室的理想产品。
产品优势
炉管采用定制变径炉管,管壁内带有石英拨料台,让物料受热更充分。炉管360℃旋转,旋转速度可调
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序
产品名称 | 定制旋转PECVD系统 |
滑轨管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-T1200-S80-DZPECVD-R |
炉管尺寸 | 80*长度1600mm 可选其他直径Φ50,60,80,100,120,150mm |
炉管材质 | 石英管 |
加热区 | 单温区,温区长度400mm |
工作温度 | 1100℃ |
最高温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
控制方式 | 触屏控制 |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20ºC/min可调 ,建议10ºC/min |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
加热功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
法兰接头 | 标配配有不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,磁流体密封,气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。 |
真空系统部分 | |
主要参数 | 采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa |
气路系统部分 | |
名称 | 四路质量流量计(量程可选) |
等离子电源部分 | |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
售后服务 | 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围) |
更多规格可根据客户需求定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
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