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产品优势
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜
温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序
产品名称 | 六通道高真空PECVD系统(CE认证) |
管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-T1200-S60-6ZH-PE |
炉管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
炉管材质 | 石英管 |
加热区 | 400mm |
工作温度 | 1100℃ |
最高温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
控制方式 | 30段可编程序控温 |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20ºC/min ,建议10ºC/min |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
加热功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。 |
选配 | 辅助降温风扇 |
真空系统部分 | |
名称 | 真空系统 |
主要参数 | 1.采用高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pa 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连; 3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高 |
气路系统部分 | |
名称 | 六路质量流量计 |
主要参数 | 六通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围: 1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制6种气体; 4.进出气口:6进1出 流量控制:手动旋转式调节 连接方式:双卡套连接 |
等离子电源部分 | |
名称 | 500W等离子电源 |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 连续输出 |
射频输出阻抗接口 | N-type,female(50Ω) |
功率稳定度 | ≤2W |
最大反射功率 | 70W |
电源保护设置 | DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护 |
供电电压/频率 | 单相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷却方式 | 风冷 |
整机尺寸 | 88X483X550 MM |
整机重量 | 13.5KG |
认证 | ISO认证、CE认证 |
售后服务 | 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围) |
更多规格可根据要求来定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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