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定制立式PECVD设备,由真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。该系统以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。
产品优势
等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小
产品名称 | 定制PECVD设备 |
产品型号 | KJ-PECVD-DZ |
立式管式炉 | |
炉膛模式 | 立式开启式 |
炉膛材料 | 进口氧化铝耐火纤维 |
加热元件 | 进口含钼加热丝 |
极限温度 | 1200℃ |
工作温度 | ≤1100℃ |
升温速率 | ≤20℃(建议:15℃/min) |
加热温区 | 单温区、多温区 |
温区总长度 | 200、300、440 |
炉管材质 | 高纯石英 |
炉管直径 | 40、50、60、80、100、120、150mm...... |
密封方式 | 304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
控制模式 | 触屏 30段智能PID程序控温 预留通讯接口 |
控温精度 | ±1℃ |
温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
测温元件 | K型热电偶 |
气路系统 | |
工作电压 | 220V/50HZ |
最大输出功率 | 18W |
工作温度 | 5--45℃ |
最大气压 | 3*106Pa |
气体通道 | 可同时连接多种气源 |
流 量 计 | 质量流量计 |
A路量程 | 0~500SCCM |
B路量程 | 0~500SCCM |
C路量程 | 0~500SCCM |
气路压力 | -0.1~0.15 MPa |
截止阀 | 不锈钢材质 |
气体连接管 | 1/4不锈钢管 |
等离子电源系统 | |
射频频率 | 13.56 MHz ±0.005% |
功率范围 | 0-100W、0-300W 、0-500W ± 1% |
射频接口 | 50 Ω, N-type |
嗓声 | ≤55DB |
冷却 | 风冷 |
输入功率 | 1KW AC220V/50HZ |
数显真空计及连接件 | |
数显真空计 | 数显真空计安装在不锈钢法兰上 |
真空泵组(相关连接配件) | |
真空泵 | 真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ |
汽化系统 | ... |
蠕动泵 |
精确度:+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/min 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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