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产品型号:KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S
主要用途:KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计;广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。该设备由KJ-1200T管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
产品优势
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜
采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制
产品名称 |
1200℃石墨烯生长炉 |
产品型号 |
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S |
管式炉 |
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加热区长度 |
440mm |
恒温区长度 |
150 (+/-1 ℃) |
工作温度 |
1100℃(此温度为长期加热温度) |
最高温度 |
1200℃ |
炉管尺寸 |
Φ60×1440mm |
等离子射频电源 |
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输出功率 |
5 ~500W ± 1% . |
射频频率 |
13.56 MHz ±0.005% . |
反射功率 |
约200W |
阻抗匹配 |
自动 |
真空泵机组(双极旋片泵) |
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真空度 |
10-3torr |
波纹管 |
KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. |
质量流量计 |
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四通道控制 |
精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
MFC 1范围 |
0~100 sccm |
MFC 2和3 |
0~500 sccm |
进气接口 |
1/4NPS |
出气接口 |
1/4NPS |
水冷系统 |
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水冷法兰要求 |
水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组 |
等离子射频电源1台、质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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