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产品优势
控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠
气路采用快速连接法兰结构,提高操作便捷性
中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵
产品名称 | 三温区CVD系统 | |
产品型号 | KJ-OTF-1200-80*220*3-F3 | |
加热系统 | 显示 | LED |
最高温度 | 1200℃ | |
工作温度 | 1100℃ | |
升温速率 | 建议: 0~15℃/min | |
温区 | 3温区 | |
每个区域的长度 | 220mm | |
加热元件 | 钼电阻丝 | |
热电偶 | K型 | |
温度控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸/材质 | 80 x 1300mm | |
材料:高纯度石英 | ||
温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 | |
加热过程 | 30步可编程 | |
真空测量 | 复合数字真空计 | |
真空法兰 | 带阀和针的不锈钢真空法兰 | |
电源 | 220V,50Hz,单相或根据需要,最大8KW | |
真空泵系统 | 冷态极限真空6.67*10-3Pa。 真空泵总成(旋转叶片泵+扩散泵) |
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天然气路线 | 高精度质量流量计 | 3气路Ar、N2、C2H4气体 |
流量范围 | 可选(20、30、50、100、200、300、500)SCCM | |
工作压力差范围 | 0.1~0.5MPa | |
耐压性 | 3MPa | |
温度系数 | 零点:≤±0.2%F.S./℃;量程:≤±0.2%F.S./℃ | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
更多尺寸可按需求定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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