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产品型号:KJ-T1200-S60-CVD
主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
中低真空系统具有真空度上下限自动控制功能
高真空系统采用高压强,耐冲击真空泵,防止意外漏气造成真空泵损坏,延长系统使用寿命
控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲
产品名称 | 低真空CVD系统 |
产品型号 | KJ-T1200-S60-CVD |
管式炉部分 | |
炉体结构 | 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃ |
炉膛材质 | 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
最高温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
升温速度 | 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min |
炉管材料 | 高纯石英管 |
炉管尺寸 | OD:60mm* ID:54mm * 长1200mm 仪器使用前必须放入管堵,防止热辐射 |
加热区长度 | 220+220+220mm |
法兰 | 不锈钢密封法兰,拆卸方便,法兰上装有精密针阀 |
温控系统 | 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能 1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护、断偶保护 4、仪表具有温度自整定的功能 |
加热元件 | 含钼合金电阻丝 |
测温元件 | K型热电偶 |
工作电源 | AC220V,50/60Hz |
额定功率 | 5KW |
进出气口 | 法兰上含有真空连接口,进出气口 |
气路系统部分 | |
质量流量计 | 四路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。 MFC1 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC2 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC3 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC4 范围: 0-500 sccm(量程可选) 气路:4 路 流量精度: 0.2% |
真空系统部分 | |
真空泵 | 1.DRV10旋片泵抽速2L/S 2.极限真空度:7*10-2Torr 3.数显真空计,实时显示真空度,真空显示范围:1×105--1×10-1pa |
标准配置 | 主机 1 台,流量计 1 套、真空泵 1 套,密封法兰 1 对,石英管 1 支, 密封圈4 个,炉堵 6 个,坩埚钩 1 把,高温手套 1 副、拆卸扳手 1把、说明书 1 份、合格证保修卡 1 份 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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