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产品型号:KJ-CVD-1700-60*300-F3
主要用途:该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
产品优势
炉管采用刚玉材质,工作温度可达1600度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强,法兰带阀门和相关接口,可抽真空通气氛
产品名称 | 高温化学气相沉积系统 | |
产品型号 | KJ-CVD-1700-60*300-F3 | |
加热部分 | 显示 | LED |
最高温度 | 1700℃ | |
工作温度 | ≤1600℃ | |
升温速率 | 建议: 0~15℃/min (max. 20℃/min) | |
加温温区 | 300mm | |
加热元件 | 硅钼棒 | |
热电偶 | B 型 | |
控温精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 60 x 900mm | |
刚玉管 | ||
温度控制 | PID自动控制 | |
升温速率 | 30段可编程 | |
电压 | 220V, 50 Hz, 单相 最大功率: 4KW | |
最大工作压力 | 0.02MPa | |
真空部分 | 真空泵总成 (旋转叶片泵+扩散泵) 包括KF25、KF50适配器、用于真空泵组的波纹管和带轮子的移动柜。 |
冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
真空测量 | 复合真空计。 | |
真空法兰 | 带阀和针的不锈钢真空法兰 | |
质量流量计(3条气体路线Ar、H2、CH4) | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
准确度 | ±1.5 % F.S. | |
响应时间 | ≦10sec | |
工作压力差范围 | 0.1~0.5MPa | |
耐压性 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
输入电压信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
输出电压信号 | 0 V ~ +5.00 V |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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