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产品型号:KJ-T1600 -3M
主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出
产品名称 | 3通道CVD设备 | |
型号 | KJ-T1600 -3M | |
管式炉部分 | 显示 | 液晶触摸屏 |
最高温度 | 1600℃ | |
工作温度 | ≤1500℃ | |
升温速率 | 0~10℃/min | |
温区 | 300mm | |
加热元件 | MoSi2 | |
热电偶 | B型 | |
温度控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 80x1000mm | |
材质:氧化铝管 | ||
塞砖 | 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔) | |
温度控制 | PID自动控制 | |
真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 | |
电源 | 220V, 50 Hz, 单相最大6KW | |
质量流量计 (液晶触摸屏) |
三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合 |
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更多参数可按需定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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