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产品型号:KJ-T1600 CVD
主要用途:此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好
产品名称 | 1600 CVD 系统 | |
产品型号 | KJ-T1600 CVD | |
管式炉 | 显示 | LED |
炉体 | 分体式和上部可以打开 | |
最高温度 | 1600℃ | |
工作温度 | ≤1500℃ | |
升温速率 | 0~10℃/min | |
温区 | 300mm | |
加热元件 | MoSi2加热元件 | |
热电偶 | B 型 | |
温度控制精度 | ±1℃ | |
炉管 | 80 x 1000mm (OD x minimum L) | |
材质:高纯氧化铝管 | ||
温度控制 | 通过可控硅功率控制进行PID自动控制 | |
加热曲线 | 30 步可编程 | |
真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 | |
电压与功率 | 220V, 50 Hz, 最大单相 4KW | |
真空泵系统 | 旋片真空泵+扩散真空泵 | 真空泵组:极限真空10-6 Torr。 旋片真空泵和扩散真空泵将设计成推车带轮子。 |
质量流量计 | 四个精密质量流量计: 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装6个不锈钢针阀,手动控制6种气体混合 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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