服务热线
177-3714-9370
产品型号:KJ-OTF-1700-F5
主要用途:此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠
高真空系统采用高压强,耐冲击真空泵,防止意外漏气造成真空泵损坏,延长系统使用寿命
炉管采用刚玉材质,工作温度可达1600度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好
名称 | 高温三温区CVD设备 | |
型号 | KJ-OTF-1700-F5 | |
加热系统 | 显示 | LED |
最高温度 | 1700℃ | |
工作温度 | ≤1600℃ | |
升温速率 | 0~15℃/min | |
温区 | 3 | |
温区长度 | 220mm | |
加热元件 | MoSi2 棒 | |
热电偶 | B型 | |
控温精度 | ±1℃ | |
管尺寸 | 80 x 1400mm | |
材质:氧化铝 | ||
温度控制 | PID自动控制 | |
温控方式 | 30段可编程 | |
真空计 | 复合真空计 | |
真空法兰 | 带阀门和针头的不锈钢真空法兰 | |
电压/功率 | 220V, 50 Hz, 10KW | |
真空泵系统 | 真空泵组 (旋片泵+扩散泵) 包括 KF25、KF50 适配器、真空泵组波纹管和带轮移动柜。 |
冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
质量流量计(5气路) | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
准确性 | ±1.5 % F.S. | |
重复精度 | ±1.5 % F.S. | |
响应时间 | ≦10sec | |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa | |
耐压性 | 3MPa | |
温度系数 | 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃ | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
输入信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
电插头形式 | DB15针(母) |
在线留言
报价清晰 材料透明 省钱省心
郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。