真空热处理炉的真空系统包括真空泵、真空阀门、真空仪表、炉腔和真空管路，真空系统的检查主要由操作人员完成，在工作中做好以下日常检查工作：1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1、对机械泵的检查是暂不打开止气电磁阀，先让泵运行起来真空管抽一段时间，观察真空泵运行过程中的声音及泵体振动变化情况；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2、长期不用的泵每周至少运行一次，在空载的情况下运行1~2h左右，检查泵体是否漏油，对于带有气镇阀的机械泵，可短时间打开气镇阀；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3、真空泵油需要定期更换，真空泵运行时，应注意观察油位及油色的变化，正常情况下，泵油应透明，并成淡黄色，如果油的上部出现白色浑浊现象，说明有水汽或有机溶剂进入真空泵，解决的方法有两个，一个是更换泵油，一个是根据实际情况可将气镇阀门打开一段时间，如果还不能恢复正常油色，说明泵油已经乳化变质，只有更换了；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4、对真空阀门、炉腔和真空管路要定期进行漏气检查，按要求定期更换密封圈，检查电磁阀开启是否正常，各个连接部分，比如法兰、螺栓是否存在松动等现象；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
5、对于与炉腔有关联部件要保持清洁，炉内一旦脏化要进行清洁处理，为使炉内保持干燥气氛，清洁后需要烘炉；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
6、罗茨泵、机械泵工作时产生振动，会造成设备的紧固件松动，每隔2~3个月将设备的螺栓重新紧一遍；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
7、检查真空规管和测量仪表是否到了校验期，规管的安装及密封是否发生了变化；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
8、检查机械泵排气口有无堵塞，排气管道是否畅通，否则会引起泵内压力过高，导致密封损坏或喷油；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
9、检查机械泵的止气电磁阀的动作，正常情况下，机械泵停止时电磁阀自动关闭，避免返油的发生；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
10、检查扩散泵加热器有无断路故障；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
11、检查泵用冷却水、冷阱用冷却水是否畅通，管路的水压开关和流量继电器动作是否正常；1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
12、检查气动真空阀门或电磁真空阀门的工作情况，有无动作不灵活和卡死现象。1Er高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司