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真空电阻炉的使用方法

作者:科佳电炉来源：原创发表时间：2019-06-05 09:13:44

真空炉的价格一般比较贵，在操作过种中应严格按照制定的操作规程来操作，以免损坏炉子，但具体到某台电阻炉还必须细化，下面简单介绍一下真空炉的使用方法：
1、装出工件前的检查：
1）检查控制系统接地是否良好，各电缆绝缘层是否破损漏电；
2）测量电热元件的对地绝缘电阻及相间电阻；
3）检查有没有漏水漏气螺栓松动等影响设备运行的情况，设备不能带故障运行；
4）检查冷却水压力，一般不小于0.2Mpa,各水路手动阀门应打开，水流通畅；
5）检查压缩空气压力，一般不小于0.5Mpa;
6）在打开炉子前，应检查炉内压力是否与大气压力平衡；
7）合上总电源开关，应无故障指示；
8）工作前一定要熟悉工艺文件；
2、工件的装出炉：
1）在炉盖开启或关闭时，不得对真空密封面造成刮擦，以免破坏设备的密封性能；
2）在装工件时，避免冲撞设备内部其他部件，造成设备的严重破坏；
3）工件安放位置应保证在炉子有效工作区范围内；
4）取出炉内工件之前，应准备好待装炉的工件，以免炉内过多次或长时间暴露大气而影响真空度；
3、抽真空：
1）真空机组、规管及仪表处在正常工作状态，才能启动真空系统；
2)真空度达到罗茨泵入口真空度时才能启动罗茨泵，否则罗茨泵不能启动；
3）达到扩散泵前级真空度时才能给扩散泵加热，以防扩散泵油氧化；
4）扩散泵加热时间到，并达到预抽真空度才能打开高真空阀；
5）随时观察炉内真空度的变化情况；
4、加热：
1）输入温度控制工艺曲线；
2）炉内真空达到工作真空度时，才能通电加热；
3）加热过程中，观察炉子工作情况，认真做好各项记录；
4）炉子工作过程中发生故障，应停止加热并请维修人员进行处理；
5、结束：
1）加热工艺结束，切断加热电源；
2）关真空系统，炉温降到150°C以下，依次关闭高真空阀、扩散泵加热器；
3）扩散泵冷却时间到，关闭前级阀和前级泵机组；
4）炉子温度低于75°C后，可关闭冷却水；
6、注意事项：
1）操作人员避免接触炉子高温部位，比如扩散泵底部，以免烫伤；
2）启动扩散泵后，不要同时打开前级阀和预抽阀，以免气体进入扩散泵引起扩散泵油爆燃。

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