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产品型号:KJ-T1200-JCY
主要用途:整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样
产品优势
收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
产品名称 | 卷对卷PECVD系统 | |
产品型号 | KJ-T1200-JCY | |
1200℃双温区管式炉 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
最大功率 | 3KW | |
加热温区 | 双温区 200mm+200mm | |
工作温度 | ≤1200℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条 | |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管尺寸 | φ80mm I.D x 1400mm L | |
密封方式 | 不锈钢真空法兰 | |
真空测量 | 电阻规 | |
工作气体 | 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 | |
真空泵 | 双极旋片式真空泵 | |
极限真空度 | 10^-1Pa | |
三路质量流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
气路数量 | 三路 | |
承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | 1~100 SCCM(Ar) 1~200 SCCM(H2) 1~500 SCCM (CH4) |
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流量控制范围 | ±1.5% | |
混气罐容积 | 750mL | |
气路材料 | 304不锈钢 | |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
供电电源 | AC220V 50Hz | |
S射频电源 | 输出功率 | 500W |
输出精度 | ±1% | |
射频频率 | 13.56MHz | |
射频稳定度 | ±0.005% | |
冷却方式 | 风冷 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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