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产品型号:KJ-PECVD-1200-50*300-F3
主要用途:该PECVD管式炉度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
产品优势
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
产品名称 | 1200℃PECVD系统 | |
产品型号 | KJ-PECVD-1200-50*300-F3 | |
加热系统 | 显示 | LED |
最高温度 | 1200℃ | |
长期工作温度 | ≤1100℃ | |
升温速率 | 0~15℃/min (max. 20℃/min) | |
温区 | 300mm | |
加热元件 | 钼棒 | |
热电偶 | K type | |
温度均匀性 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 60 x 1200mm | |
材质:氧化铝 | ||
温度控制 | 通过可控硅功率控制进行PID自动控制 | |
加热过程 | 30步可编程 | |
电压 | 220V,50 Hz,最大单相 3KW | |
最大工作压力 | 0.02MPa | |
真空系统 | 旋片泵 包括 KF25 适配器、真空泵组波纹管和带轮子的移动柜。 |
冷态极限真空10Pa。 |
真空计 | Inficon 数显真空计 | |
真空法兰 | 带阀门和针头的不锈钢真空法兰 | |
质量流量计 | 流量范围 | CO2(流量范围:0-200 sccm CH4(流量范围:0-200 sccm) N2 流量范围(流量范围:0-200 sccm) |
准确性 | ±1.5 % F.S. | |
重复精度 | ±1.5 % F.S. | |
响应时间 | ≦10sec | |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa | |
耐压性 | 3MPa | |
温度系数 | 零:≤±0.2% F.S./℃; 跨度:≤±0.2% F.S./℃ | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
输入信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
等离子射频发生器 | 输出功率:0 -300W可调,±1%稳定性 射频频率:13.56 MHz ±0.005% 稳定性 反射功率:最大 120W 电源稳定性指标:±0.1% 匹配:自动 噪音:<50 分贝。 整体效率:≧70% |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
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