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产品型号:KJ-PECVD-D1
主要用途:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电(等离子体)使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜技术生长的一种系的制备技术。我公司依据实验要求设计制作该款设备以适应各类薄膜研究的需要。
产品优势
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
炉膛采用节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保
超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠具有多重防护功能
产品名称 | PECVD | |
产品型号 | KJ-PECVD | |
500W 射频电源 | ||
匹配功率范围 | 0-500W+1%可调 | |
工作频率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
反射功率 | 最大200W | |
匹配方式 | 自动 | |
输出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
冷却 | 强制风冷 | |
电压频率 | 220V 50Hz | |
匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200~+j200(可根据负载调节阻抗) | |
管式加热系统 | ||
滑道 | 带滑道,可手动滑动炉膛,实现快速升温或冷却功能 | |
加热区长度 | 300mm | |
炉管尺寸 | 60mm x1600mm 外径x长 | |
炉管材质 | 高纯石英管 (SiO2 ≥ 99.99%) | |
工作温度 | ≤1100℃ | |
温控系统 | 智能化30段PID微电脑可编程自动控制 | |
温控精度 | ±1℃(具有超温及断偶报警功能) | |
加热速率 | 建议0~10℃/min | |
加热元件 | 电阻丝 | |
额定电压 | 单相220V 50Hz | |
可通气体 | 氮气、氩气等惰性气体 | |
测温元件 | 热电偶测温 | |
壳体结构 | 双层壳体结构带风冷系统 | |
真空法兰 | 法兰一端带1/4”卡套接头进气口,60转KF50快装法兰。另一端带控压阀,气动泄压阀和放气阀。 | |
供气系统 | 四路精密质子流量计: 测量精度:±1.5% F.S. 流量范围: 0~200 sccm(含10%甲烷的氩气) 流量范围: 0~200 sccm(含10%甲烷的氩气) 流量范围: 0~200 sccm(氩气) 流量范围: 0~500 sccm(含10%甲烷的氩气) 通过触屏来调节气体流量 |
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真空系统 | 旋片泵,真空度在空炉冷态可达10pa, 真空计:进口数显真空计实时显示真空度,精度高。 |
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控压系统 | 控压范围 -20kpa 到 20kpa (也可按客户要求设计) | |
自动化控制 15”触摸屏 |
触摸屏界面集成控制炉子,真空泵,质量流量计以及射频电源。炉子部分需要先设好温度时间曲线。集成控制部分可以控制温度曲线的启停,真空度,气体流量,射频功率和射频启停,泄压阀等。 | |
标准配件 | 数显真空计2个,石英炉塞1对,高密封法兰1对,氟胶密封圈2对,高温坩埚钩1把,拆卸法兰六角扳手1把,保修卡说明书1份 | |
备注 | 法兰,质量流量计,阀门,管路等用316不锈钢材质 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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