产品中心

混气PECVD设备

产品型号:KJ-T1200 PECVD

主要用途:KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

         KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统,它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。

产品优势

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 所需温度更低

    PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

技术参数

型号 KJ-T1200 PECVD
等离子射频电源
 
输出功率 5 -500W可调,均匀性 ± 1%
RF频率 13.56 MHz ±0.005%
反射功率 最大 200W
射频输出端口 50 Ω,N型
噪音 <50 dB.
冷却 空气冷却
管式炉部分
 
显示 LED
形式 分体式和上部可打开
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min(最大20℃/min)
温区长度 500mm
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K型
温度均匀性 ±1℃
炉管尺寸 200m外径 X 长度1600mm
材质:石英管 
温度控制 通SCR功率控制进行 PID 自动控制
加热曲线 30步可编程
法兰 不锈钢带阀真空法兰 
电压 380V, 50 Hz, 三相最大 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵将设计成带轮的推车。
质量流量计 三款精密质量流量计:
MFC 1:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3:气体流量范围从 0~100 sccm
(或根据您的要求)
底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合
 
数字真空计 皮拉尼数字真空计 
 
 

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们