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定制流化床CVD系统,由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统组成。该系统以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。该立式CVD管式炉广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空充保护气体至微正压
双层壳体立式可开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
产品名称 |
流化床CVD系统 |
产品型号 |
KJ-CVD-DZ |
立式管式炉部分 |
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炉膛模式 |
立式开启式 |
炉膛材料 |
进口氧化铝耐火纤维 |
加热元件 |
优质硅碳棒 |
极限温度 |
1400℃ |
工作温度 |
≤1300℃ |
升温速率 |
≤20℃(建议:15℃/min) |
加热温区 |
单温区、多温区 |
温区总长度 |
200、300、440 |
炉管材质 |
高纯石英管、刚玉管 |
炉管直径 |
40、50、60、80、100mm...... |
密封方式 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
控制模式 |
多段智能PID程序控温 预留通讯接口 |
控温精度 |
±1℃ |
温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
测温元件 |
K型热电偶 |
气路系统部分 |
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工作电压 |
220V/50HZ |
最大输出功率 |
18W |
工作温度 |
5--45℃ |
气体通道 |
可同时连接多种气源 |
流 量 计 |
质量流量计 |
A路量程 |
0~500SCCM |
B路量程 |
0~500SCCM |
C路量程 |
0~500SCCM |
..... |
..... |
气路压力 |
-0.1~0.15 MPa |
截止阀 |
不锈钢材质 |
气体连接管 |
1/4不锈钢管 |
数显真空计及连接件 |
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数显真空计 |
数显真空计安装在不锈钢法兰上 |
真空泵组(相关连接配件) |
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真空泵 |
真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ |
认证 |
ISO认证、CE认证 |
售后服务 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围) |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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