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高温化学气相沉积系统/cvd镀膜

产品型号:KJ-T1500CVD-DZ

主要用途:主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺研究

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设备介绍

此款定制高温气相沉积系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。该CVD高温管式炉主要用广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。vAM高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 超温保护和报警

    有超温保护和报警,及过热和热电偶断裂保护功能,允许在无人值守的情况下运行

  • 30段智能PID程序控温

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 法兰采用双环密封技术

    有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式

技术参数

产品名称 定制高温CVD系统
  沉积炉
产品型号 KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式 开启式
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 U型硅钼棒
极限温度 1600℃高温区     
工作温度 ≤1500℃高温区    
升温速率 ≤10℃/min
加热温区 单温区、双温区、多温区
温区总长度 200、300、400mm
炉管材质 刚玉管
炉管直径 40、50、60、80、100mm
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
底部法兰有三个进气口 方便进气
底部法兰加支架  方便工件放在沉积炉低温区
控制模式 每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 B型双铂铑热电偶
供电电源 220V/380V   50HZ
供气系统     集成在控制柜上
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 浮子流量计
A路量程  1L/MIN
B路量程  1L/MIN
C路量程   1L/MIN
气路压力 -0.1~0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度 700
工作温度 500
炉膛尺寸 定制
开门方式 上开
进气口 一个进气口
出气口 一个出气口
售后服务 12个月质保(易耗件及人为损坏除外),终身保修
 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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