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此款定制高温气相沉积系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。该CVD高温管式炉主要用广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
有超温保护和报警,及过热和热电偶断裂保护功能,允许在无人值守的情况下运行
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式
产品名称 | 定制高温CVD系统 |
沉积炉 | |
产品型号 | KJ-T1500CVD-DZ |
炉膛模式 | 开启式 |
炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
加热元件 | U型硅钼棒 |
极限温度 | 1600℃高温区 |
工作温度 | ≤1500℃高温区 |
升温速率 | ≤10℃/min |
加热温区 | 单温区、双温区、多温区 |
温区总长度 | 200、300、400mm |
炉管材质 | 刚玉管 |
炉管直径 | 40、50、60、80、100mm |
密封方式 | 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口 方便进气 底部法兰加支架 方便工件放在沉积炉低温区 |
控制模式 | 每个温区单独 30段智能PID程序控温 |
温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
测温元件 | B型双铂铑热电偶 |
供电电源 | 220V/380V 50HZ |
供气系统 集成在控制柜上 | |
气体通道 | 可同时连接多种气源 |
流 量 计 | 浮子流量计 |
A路量程 | 1L/MIN |
B路量程 | 1L/MIN |
C路量程 | 1L/MIN |
气路压力 | -0.1~0.15 MPa |
截止阀 | 不锈钢材质 |
气体连接管 | 1/4不锈钢管 |
气化炉A、B | |
最高温度 | 700 |
工作温度 | 500 |
炉膛尺寸 | 定制 |
开门方式 | 上开 |
进气口 | 一个进气口 |
出气口 | 一个出气口 |
售后服务 | 12个月质保(易耗件及人为损坏除外),终身保修 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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