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卷对卷PECVD设备

产品型号:KJ-T1200-JCY

主要用途:整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样

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设备介绍

       卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样。hqN高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
   

产品优势

  • 样品速度稳定

    收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

技术参数

产品名称 卷对卷PECVD系统
产品型号 KJ-T1200-JCY
1200℃双温区管式炉 供电电压 AC220V,50Hz
最大功率 3KW
加热温区 双温区 200mm+200mm
工作温度 ≤1200℃
控温精度 ±1℃
控温方式 AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条
炉管材质 高纯石英
炉管尺寸 φ80mm I.D x 1400mm L
密封方式 不锈钢真空法兰
真空测量 电阻规
工作气体 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
真空泵 双极旋片式真空泵
极限真空度 10^-1Pa
三路质量流量计 阀门类型 不锈钢针阀
气路数量 三路
承压范围 0.05~0.3MPa
量程 1~100 SCCM(Ar)
1~200 SCCM(H2
1~500 SCCM (CH4)
流量控制范围 ±1.5%
混气罐容积 750mL
气路材料 304不锈钢
管道接口 6.35mm卡套接头
供电电源 AC220V 50Hz
S射频电源 输出功率 500W
输出精度 ±1%
射频频率 13.56MHz
射频稳定度 ±0.005%
冷却方式 风冷

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

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 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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