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1200℃PECVD系统

产品型号:KJ-PECVD-1200-50*300-F3

主要用途:该PECVD管式炉度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

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设备介绍

        PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该PECVD管式炉温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。8za高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 所需温度更低

    PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

产品名称 1200℃PECVD系统
产品型号 KJ-PECVD-1200-50*300-F3
加热系统 显示 LED
最高温度 1200℃
长期工作温度 ≤1100℃
升温速率  0~15℃/min (max. 20℃/min)
温区 300mm
加热元件 钼棒
热电偶 K type
温度均匀性 ±1℃
炉管尺寸 60 x 1200mm
材质:氧化铝
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热过程 30步可编程
电压 220V,50 Hz,最大单相 3KW
最大工作压力 0.02MPa
真空系统 旋片泵
包括 KF25 适配器、真空泵组波纹管和带轮子的移动柜。
 
冷态极限真空10Pa。   
真空计 Inficon 数显真空计
真空法兰 带阀门和针头的不锈钢真空法兰
质量流量计 流量范围 CO2(流量范围:0-200 sccm
CH4(流量范围:0-200 sccm)
N2 流量范围(流量范围:0-200 sccm)
准确性 ±1.5 % F.S.
重复精度 ±1.5 % F.S.
响应时间 ≦10sec
工作压差范围 0.1~0.5MPa
耐压性 3MPa
温度系数 零:≤±0.2% F.S./℃; 跨度:≤±0.2% F.S./℃
工作环境温度 5~45℃
输入信号 0 V ~ +5.00 V
输出信号 0 V ~ +5.00 V
等离子射频发生器 输出功率:0 -300W可调,±1%稳定性
射频频率:13.56 MHz ±0.005% 稳定性
反射功率:最大 120W
电源稳定性指标:±0.1%
匹配:自动
噪音:<50 分贝。
整体效率:≧70%

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

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