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产品型号:KJ-TRTP1000
主要用途:真空RTP退火炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
真空RTP退火炉是一款真空度比较高的快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用卤素灯加热,升温速度可达50℃/秒,PID自动控制,30段可编程序,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。该高温退火管式炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
产品优势
加热元件采用卤素灯加热,升温速度可达50℃/秒
炉子的底部安装有一对滑轨,可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却
30段高精度数字可编程温度控制器,控温精度高,可达±1℃
处理晶圆尺寸:2英寸 | 处理晶圆尺寸:4英寸 | 处理晶圆尺寸:6英寸 | |||
炉管外径 | 100MM | 炉管外径 | 110-150MM | 炉管外径 | 180MM |
加热区尺寸 | 200MM | 加热区尺寸 | 300MM | 加热区尺寸 | 400MM |
产品名称 | RTP 快速退火炉 |
工作温度 | 900℃ |
控 制 器 | LED(可选配LCD触屏) |
炉 膛 | 开启式 滑道式 |
炉管尺寸 | 根据需求尺寸定制 |
加热区 | AC380V 50HZ 可根据要求定做 |
最大功率 | 24 kw |
加热元件 | 卤素灯 |
升温速率 | 0~50 C/S |
热 电 偶 | 根据实际需要设计来配 |
温度控制器 | 30段高精度数字可编程温度控制器 |
特殊要求 | 具体细节可根据客户需求定制(详情欢迎来电咨询我们) 1、可定制真空系统 2、可定制气路系统 3、其他特殊工艺需求 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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