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产品型号:KJ-RTP1000-DZ
主要用途:该定制RTP快速退火炉采用红外灯管加热,最快升温速度为 50°C/秒,是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
该定制RTP快速退火炉由RTP滑轨管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。这款管式炉是采用红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段准确温度控制,精度为 ±1°C,RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。该快速热处理管式炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计,计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
产品优势
采用红外灯加热,加热速度快,最快升温速度是50℃/秒
控温系统采用PID方式调节,30 段准确温度控制,精度为 ±1°C
炉子的底部安装有一对滑轨,可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却
产品名称 |
定制RTP快速退火炉 |
型号 | KJ-RTP1000-DZ |
第一部分: 管式炉 |
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产品名称 |
开启式上下温区RTP管式炉 |
温度 |
最高1000度 |
控 制 器 |
LCD触摸屏 |
炉管尺寸 |
石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
加热区 |
300mm |
炉型 |
开启式 |
供电电源 |
电压:380V; 频率:50 hz;三相 |
加热元件 |
卤素灯加热 |
升温速率 |
30 C/秒 |
热 电 偶 |
K 型热电偶测物料处温度 |
温度控制器 |
30段高精度数字可编程温度控制器 |
第二部分 混气系统 |
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量程 |
MFC1:氧气(O2)0-200sccm MFC2:氩气(Ar)0-200sccm |
第三部分 真空系统 |
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旋片式真空泵+排气过滤器+防腐数字真空表 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
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