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pecvd系统的构成部分和适用范围

作者:科佳电炉 来源：原创 发表时间：2016-06-17 09:58:15

等离子射频电源主要用于高端院校实验室。半导体，太阳能光伏，手机行业，汽车行业，橡塑行业等。它可以和CVD设备一起组合成PECVD系统。2A1高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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