真空热处理具有无氧化、不脱碳、工件表面光亮、变形小、无污染、节能、自动化程度高，以及适用范围广等优点，是近年来发展得比较快的热处理新技术之一，特别是在航空材料表面改性方面获得了很大的进展。

 

许多新开发的热处理技术，比如真空高压气淬、真空化学热处理等，也需要在真空下方能实施。采用真空热处理技术可使结构材料、工模具的质量和使用寿命得到大幅度的提高，尤其适合于一些精密零件的热处理。

 

随着真空热处理技术的发展，真空热处理设备如真空回火炉、真空淬火炉、真空退火炉、真空渗碳炉、真空烧结炉、真空钎焊炉等在国内得以研制成功，在工业上真空炉的制造技术和装备水平不断提高，真空度也逐渐的达到了国际水平，但是在自动化控制和器件的精细加工上与国外还有一定的差距，尤其是在超高真空炉性能的稳定上有待精密器件制备水平的提高。此外测试技术和测量仪器的发展也对真空设备有很大的影响，尤其是自动测试与控制技术。真空设备中极限真空度、工作真空度、空炉抽空时间、压升率、炉温均匀度及空炉升温时间等参数的准确测量和性能指标是真空炉性能的主要体现。

 

在工业发达的国家，真空热处理炉的比例已达20%左右，而我国目前约有真空热处理炉1200台，占热处理炉总数的1%左右，与国外的差距很大，预计今后随着热处理行业的技术进步和对热处理工件质量的要求越来越高，真空热处理将会有较大的发展。