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真空炉,指的是在炉腔这一特定空间内利用真空系统将炉腔内的气体排出,使炉腔内的气体压强小于一个标准大气压,在炉腔内空间中实现真空状态的一种特殊加热设备。
真空炉按照应用可分为真空淬火炉、真空钎焊炉 、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等。
大部分的真空炉是由如下七个系统组成:
1、炉体
炉体采用双层圆筒结构,内外壁之间通水冷却,使炉体内外壁保持在一个较低的温度,防止加热元件产生的热量向外散溢造成危险。炉体的侧部安设有真空抽接口、带有真空充放气阀门等。
2、炉盖
卧式真空炉炉盖侧开,立式真空炉可采用上开盖或下方升降开盖方式。炉盖也同用采用双层水冷结构,内外壁之间通水冷却。
3、加热保温系统
可采用多种加热元件进行加热,如电阻丝、硅碳棒、硅钼棒、石墨、钼板及电子束、激光、感应加热等。加热电极为专门设计真空密封,保证与炉体的良好密封和绝缘。为保持温度稳定、节能降耗,一般会在真空腔体内设置保温炉膛,耐热保温材料可选择氧化铝纤维、高纯石墨板和石墨纤维、钼板和不锈钢板制作的隔热屏等。
4、测温系统
根据不同温度区间,可选用K型、N型、S型、B型热电偶或红外测温仪测温。
5、真空系统
真空系统是用来实现炉膛内真空环境的,根据不同的真空度要求可选用机械泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵等单独或组合使用,配合真空挡板阀、高真空蝶阀、数显真空计、真空压力表、真空放气阀、真空管路等形成真空系统,并留有充气接口。为减少炉体振动,真空管道与泵的连接采用金属波纹管,真空度通过数显真空计和真空压力表显示。
6、水冷系统
水冷系统由冷水机、集水器、进水管、回水管、阀门、管路等组成。通过管路供给真空机组、炉体、炉门等,以确保设备及时降温隔热,以策安全。如客户的生产现场备用循环水系统,亦可直接接入循环水实现降温。
7、控制系统
温度的控制是通过温度程序控制仪根据用户设定的工艺曲线,实行自动控制温度,并具有PID自整定功能,也可根据用户需要手动控制温度。人机交互界面一般采用LCD触控屏,可实现温度曲线设置、温度显示、加热和真空系统控制、报警显示、数据记录等功能。
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