气相化学沉积系统（CVD管式炉）是利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应，从而在基体表面上生成不挥发涂层的一种薄膜材料制备系统，它由真空管式炉，多通道气路系统和真空系统组成。适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、碳纳米管生长、石墨烯材料制备、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
   此款CVD管式炉有两个温区，采用双层壳体结构和智能化程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，具有真空装置，可以通气氛抽真空，真空泵可以根据客户要求的真空度选配，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
主要功能和特点：zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
1、炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维无机材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于其它国内纤维材料；zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
2、加热元件采用合金电阻丝，最高发热温度可达1200℃；zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
3、升温速度推荐≤10℃/min，最快升温速度20℃/minzUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
4、超温报警断电功能及漏电保护措施，操作安全可靠。zUb高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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