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真空电阻炉与箱式炉或井式电阻炉相比,具有以下特点:
1、需要清洁、干燥的气氛环境。一般真空电阻炉安装在环境比较干净,空气比较干燥的地方。特别是高真空电阻炉,对于干燥的气氛更是有严格要求,否则会因为潮湿使炉内材料吸附水分,导致真空度降低或抽气时间增长,达不到工作真空度的要求;
2、严格的真空密封结构。真空电阻炉的一个关键问题,就是为了保证真空电阻炉的真空性能,要有可靠的真空密封结构,真空密封设计注意以下几点:一是炉体要采用气密焊接,二是在真空系统上尽量少开孔,三是少采用动密封结构,减少真空泄露的机会,另外,安装在真空炉体上的部件或附件,如水冷电极、热电偶伸缩装置也都必须设计密封结构;
3、热区部件只能在真空状态下使用。真空电阻炉广泛采用了钽、钨、钼等作电热元件或隔热材料,这些材料抗氧化性能较差,在高温状态下极易氧化,因此,真空电阻炉的电热元件与隔热材料只能在真空状态下使用;
4、水冷装置。高温真空电阻炉的炉壳、炉盖、连接法兰、电极等部件,均在高温受热状态下工作,为保证各部件的结构不变形损坏,真空密封圈不因过热烧毁,对各部件应该根据不同的情况设计水冷装置。对于通有大电流的电缆和变压器,由于自身发热可能被烧毁,也需要进行水冷,以保证真空电阻炉能够正常运行;
5、 采用低压大电流加热。真空电阻炉真空度低于13.3Pa时,通电元件在较高的电压下,会产生辉光放电现象,如果炉内被污染,严重的会产生弧光放电,烧毁电热元件、隔热屏,绝缘子被击穿等,造成重大事故和损失,因此大都采用低压大电流加热工作方式,真空电阻炉的电热元件的工作电压,一般都不超过80~100V,为防止辉光放电或者弧光放电的发生,电热元件结构尽量避免有尖端的部位,而且电极间的间距不能太小;
6、自动化程度高。真空电阻炉一般采用计算机、PLC及智能温度控制器进行控制,以便满足各种温度控制工艺要求,真空电阻炉除温度控制外,还有真空系统、冷却系统、电气控制系统等,状态检测点和控制点多达数十个,甚至上百个,这就需要电阻炉有较高的自动化程度。
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