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真空热处理炉的真空系统一般由真空泵、真空阀门、真空测量仪表、冷阱、管道等部分组成,下面介绍几种常见的真空系统:
下图1是低真空系统,适用于真空度在2~1333pa范围的真空热处理炉,如预抽井式真空炉多采用这个系统。图2是具有机械增压泵的真空系统,适用于真空度在1.33~10﹣¹pa范围的真空热处理炉,真空淬火炉广泛采用此系统。图3和图4是高真空系统及带有增压泵的高真空系统,适用于真空度在1.33x10﹣²~6.6x10﹣4pa范围的真空热处理炉,真空退火炉,真空钎焊炉多采用此系统。
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