真空热处理炉包括真空退火炉、真空烧结炉、高温高压真空炉、真空加热炉，气氛真空炉、真空管式炉、真空箱式炉等；真空热处理炉分为外热式和内热式，本文为大家介绍的是内热式真空热处理炉。tse高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

1.内热式真空热处理炉的结构tse高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

内热式真空热处理炉是将整个加热装置（加热元件、耐火材料）及欲处理的工件均放在真空容器内，没有炉罐，整个炉壳就是一个真空容器。炉中安设电热元件、隔热屏、炉床、风扇、传送机构和其他构件等。通过电热元件的热辐射或充入气体气流循环加热工件，炉壳多采用双层水冷式设计，因而也可称作冷壁式真空炉。电热元件多位于加热室中部，围绕工件有效加热区设计安置，外部是金属辐射屏或非金属隔热屏结构，炉床安装在加热室下部，风扇结构所安设在冷却室，也有安设于加热室的一端，上部或下部，并且和热交换器装置组成强制气流循环的加热和冷却系统。传递机构多设在冷却室，有些和炉外料筐支架相连，根据用途和某些特殊要求采取不同型式结构。加热电极通过炉壳引入，设计时要考虑加热电极的水冷和密封结构，以保证其良好的工作特性。tse高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

典型的内热式真空热处理炉的结构示意图下图所示。

tse高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

目前内热式真空热处理炉形式多样，按其外形及结构可分为立式、卧式、单室、双室和三室。工作冷却方式分为自冷、负压气冷、负压油冷和加压气冷（2x10³pa）、高压气冷（2x10⁵pa）及超高压气冷（20x10⁵pa）等炉型。按照热处理工艺科分为淬火炉和回火炉。有单功能的，也有多功能的。