由于产品不同,技术要求及热处理规范也各不相同,所用的真空热处理炉的结构也多种多样。为了便于分析比较与合理选择、使用,通常按以下特征进行分类。
按真空度可分为:低真空炉(1333-1.33x10﹣1Pa)、高﹣真空炉(1.33x10﹣2-1.33x10﹣4Pa)、超高真空炉(1.33x10﹣4Pa以上)。
按工作温度可分为:低温炉(≤700℃)、中温炉(700-1000℃)、高温炉(≥1000℃)。
按炉型结构形式可分为:立式真空炉和卧式真空炉。
按作业性质可分为:周期式真空炉、半连续和连续式真空炉。
按热源可分为:电阻加热真空炉、感应加热真空炉、电子束加热真空炉和离子加热真空热处理炉等。
通常,从炉子结构和加热方式,将
真空热处理炉基体上可以归为两大类:一类是外热式真空热处理炉,也被称作壁式真空热处理炉;另一类是内热式真空热处理炉,也被称作冷壁式真空热处理炉。