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PECVD旋转管式炉

产品型号:KJ-TX1100-S50LK1

主要用途:适用于粉体材料的表面薄膜沉积,在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。

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设备介绍

      PECVD旋转管式炉系统适用于粉体材料的表面薄膜沉积。系统由高功率射频电源(500W,13.56MHz)、真空系统、旋转管式炉组成。该设备是为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化,从而大大提高了反应物的活性,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜,因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法。PECVD淀积的薄膜具有良好的电学性能、良好的衬底附着性以及非常好的台阶覆盖性,正由于这些优点使其在大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。wV0高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
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产品优势

  • 成品质量好

    PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

  • 炉管可旋转

    炉管采用定制变径炉管,管壁内带有石英拨料台,让物料受热更充分。炉管360℃旋转,旋转速度可调

  • 可通保护气氛

    法兰上带有进出气旋转接头,可以通入氮气、氩气等惰性保护气体,可在气氛环境下使用

  • 安全防护功能

    安全防护,具有超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动报警保护功能,操作安全可靠

  • 沉积效果好

    等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜

  • 智能多段PID可编程

    温控系统采用PID智能化程序控温,自整定功能并可编制多段升降温程序

技术参数

产品名称 PE旋转管式炉
产品型号 KJ-TX1100-S50LK1
炉膛材料 炉膛采用氧化铝多晶纤维
炉管尺寸 两端直径约Φ30mm,中间尺寸Φ50mm 总长约1200mm
加热区 200mm
炉管材质 石英炉管
工作温度 ≤1000℃
最高温度 1100℃
加热元件 合金加热丝
控温精度 ±1℃
加热速率 0-20℃/min, 建议10℃/min,可根据实验工艺进行调节
温度测试元件 K型热电偶
控温系统 采用智能化多段PID可编程控制
温度控制系统采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能并可编制多段升降温程序;
1、采用PID 方式调节控温,可设置多段升降温程序
2、控温精度±1ºC
3、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断
4、仪表具有温度自整定的功能
密封方式 采用磁流体和真空法兰的密封方式,密封效果更好
旋转速率 15rpm/min 可调
旋转结构 旋转方式,炉管可以360℃旋转,炉体可倾斜
工作电压 AC 220v 50Hz
加热功率 2KW
真空系统 1、采用DRV-10旋片真空泵,冷态极限真空度可达10Pa,真空泵含粉尘过滤器
2、KF快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
3、数显真空计显示
等离子电源系统 功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
射频输出阻抗接口 N-type,female(50Ω)
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却方式 风冷
提供相关配件 坩埚钩、高温手套、热电偶、定制炉塞、说明书、保修卡等终身保修
售后服务 12个月质保、终身保修(加热元件、炉管等随机赠送配件不属于质保范围)
注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,使用时会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
不得通入氯化物、硫化物等易腐蚀性气体,易造成法兰等不锈钢件的损坏
对于样品加热的实验
不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。
若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数
若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
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