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产品型号:KJ-PECVD-L
主要用途:科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长,,如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)。
产品优势
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
产品名称 | 摇臂式集成控制PECVD设备 |
产品型号 | KJ-PECVD |
第一部分滑轨管式炉部分 | |
炉管尺寸 | Φ25mmX1600mm(最终长度取决于最终设计) |
炉管材料 | 石英管 |
加热区 | 200+200mm (双温区) |
工作温度 | ≤1100°C |
最高温度 | 1200°C |
温度控制方法 | K型热电偶 |
控制方式 | 触摸屏控制,带独立摇臂,可根据实际需要调节温控屏角度,使用更方便 |
温度控制精度 | ±1℃ |
温度控制保护 | 具有过热和烧毁保护功能 |
加热速率 | 建议≤10ºC/min,最大20ºC/min |
加热元件 | 电阻丝 |
工作电压 | 交流220V单相50HZ/60HZ(电路电压用户可选择定制) |
加热功率 | 4KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
炉膛结构 | 炉体有滑轨,可实现快速加热和冷却 |
真空法兰 | 标准配置配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 炉管和法兰采用硅胶O型圈挤压密封,拆卸方便,可反复拆卸,气密性好。 |
外壳 | 碳钢或不锈钢外壳 |
可选 | 辅助冷却风扇 |
第二部分真空系统部分 | |
名称 | 真空系统 |
主要参数 | 1.采用中国品牌高真空分子泵组,极限真空度可达6.7x10-3pa(空冷状态) 2.KF25快速连接,不锈钢波纹管,手动挡板阀和法兰,真空泵连接; 3、数字真空显示,测量范围为5×10-50-150mbar,测量精度高 |
第三部分供气系统部分 | |
名称 | 四通质量流量计 |
主要参数 | 四通道精密质量流量计:触摸屏控制、数字显示、自动控制 1、流量范围:MFC 1-MFC3:10-1000sccm可调 MFC1:CH4 0-10sccm MFC2:H2 0-200sccm MFC3:0-200sccm MFC4:0-300sccm 控制精度:±1.5%F.S。 2.一个混合罐 3.供气系统左侧安装4个不锈钢针阀,可手动控制4种气体; 4.进风口和出风口:4进1出 流量控制:LCD触摸屏 注:不支持液体或腐蚀气体。 |
第四部分等离子电源部分 | |
名称 | 500W等离子电源 |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
工作频率 | 13.56兆赫+0.05% |
操作模式 | 连续输出 |
RF输出阻抗接口 | N型,内螺纹(50Ω) |
功率稳定性 | ≤2W |
最大反射功率 | 70W |
电源保护设置 | 直流过流保护、功率放大器过温保护、反射功率保护 |
电源电压/频率 | 单相交流(187V-253V)50-60HZ |
冷却法 | 空气冷却 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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