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产品型号:KJ-PECVD-LM
主要用途:该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。
产品优势
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
型号 | KJ-PECVD-LM | |
管式炉部分 | Display | 触摸屏 |
连续工作温度. | ≤1100℃第一温区 ≤1100℃第二温区 ≤1600℃第三温区 |
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升温速率 | 建议: 0~10℃/min | |
温区 | 220mm+220mm+220mm | |
加热元件 | 硅碳棒和硅钼棒 | |
热电偶 | K型和B型 | |
温度控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 80x1600mm (OD x minimum L) Approx. | |
材料:氧化铝管 | ||
温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 | |
倾斜功能 | 0-15度 (不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。) |
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加热曲线 | 30步可编程 | |
真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 右侧法兰为滑动式。 法兰应为水冷式。 |
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电源 | 220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW | |
等离子射频 |
功率范围 | 0-300W(连续可调) |
控制模式 | 手动 | |
工作频率 | 13.56MHz | |
报警保护 | 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护 | |
射频输出阻抗接口(50Ω) | N型,内螺纹 | |
功率稳定性 | ≤ 1 W | |
最大反射功率 | 200 W | |
谐波分量≤d Bc | -50 | |
电源电压 | 187V - 253V | |
总效率≥% | 70 | |
冷却方法 | 强制空气冷却 | |
真空泵系统 | 分子泵系统 | 极限真空:6.7*10-5 Pa。 包括数字真空计 |
质量流量计 (LCD触摸屏) |
六个精密质量流量计: MFC精度为:±1.5%F.S。 Ar的MFC 1:气体流量范围取决于客户的要求 用于N2的MFC 2:气体流量范围取决于客户的要求 O2的MFC 3:气体流量范围取决于客户的要求 用于C2H2的MFC 4:气体流量范围取决于客户的要求 CH4的MFC 5:气体流量范围取决于客户的要求 MFC 6用于H2:气体流量范围取决于客户的要求 |
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液体蒸气发电机 | 包括自动液体蒸汽发生器,并连接到ALD阀 | |
17MHZ超声波雾化 |
配备1.7MHz超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。 20VAC,1.7MHz超声波雾化器 •液体罐标配316不锈钢,并用氟橡胶密封件密封; •雾化量可设置为1至8,雾化量可通过调整齿轮的大小来控制; •可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟(每30分钟调整一次档位)。 |
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液体注入系统 | •一套用于自动液体供给的标准液体注入泵 •注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器,用于容纳液体; •注射泵速度调节范围: 0.004ml/min-70ml/min |
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水冷却器 | 用于冷却水冷法兰和真空泵。 |
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