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六通道PECVD设备

产品型号:KJ-PECVD-LM

主要用途:该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。

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设备介绍

         该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。该PECVD管式炉通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。

产品优势

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 所需温度更低

    PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

型号 KJ-PECVD-LM
管式炉部分 Display 触摸屏
连续工作温度. ≤1100℃第一温区
≤1100℃第二温区
≤1600℃第三温区
升温速率 建议: 0~10℃/min
温区 220mm+220mm+220mm
加热元件 硅碳棒和硅钼棒
热电偶 K型和B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1600mm (OD x minimum L) Approx.
材料:氧化铝管
温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制
倾斜功能 0-15度
(不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。)
加热曲线 30步可编程
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
右侧法兰为滑动式。
法兰应为水冷式。
电源 220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW
等离子射频
 
功率范围 0-300W(连续可调)
控制模式 手动
工作频率 13.56MHz
报警保护 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护
射频输出阻抗接口(50Ω) N型,内螺纹
功率稳定性 ≤ 1 W
最大反射功率 200 W
谐波分量≤d Bc -50
电源电压 187V - 253V
总效率≥% 70
冷却方法 强制空气冷却
真空泵系统   分子泵系统 极限真空:6.7*10-5 Pa。
包括数字真空计   
质量流量计
(LCD触摸屏)
六个精密质量流量计:
MFC精度为:±1.5%F.S。
Ar的MFC 1:气体流量范围取决于客户的要求
用于N2的MFC 2:气体流量范围取决于客户的要求
O2的MFC 3:气体流量范围取决于客户的要求
用于C2H2的MFC 4:气体流量范围取决于客户的要求
CH4的MFC 5:气体流量范围取决于客户的要求
MFC 6用于H2:气体流量范围取决于客户的要求
 液体蒸气发电机  包括自动液体蒸汽发生器,并连接到ALD阀
 
 17MHZ超声波雾化
 
配备1.7MHz超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。
20VAC,1.7MHz超声波雾化器
•液体罐标配316不锈钢,并用氟橡胶密封件密封;
•雾化量可设置为1至8,雾化量可通过调整齿轮的大小来控制;
•可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟(每30分钟调整一次档位)。
液体注入系统 •一套用于自动液体供给的标准液体注入泵
•注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器,用于容纳液体;
•注射泵速度调节范围:
0.004ml/min-70ml/min
水冷却器 用于冷却水冷法兰和真空泵。

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

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 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
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