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产品型号:KJ150-XK
主要用途:郑州科佳KJ150-XK是一款管式扩散氧化炉,适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
产品优势
采用高可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化
控温系统采用PID方式调节,多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步
具有友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态
实验型氧化扩散炉 | |
产品型号 | KJ150-XK |
工作温度 | ≦1300℃ |
应用晶片尺寸 | 2~8英寸圆片 |
可配工艺管数量 | 1~2管/台 |
恒温区长度 | 300~600mm |
恒温区精度 | ≤±0.5℃ |
温度稳定性 | ≤±0.5℃/24h |
温度变化速率 | 最大升温速率10℃/min,最大降温速率5℃/min |
安全预警 | 具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能 |
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河南鸿炉机械有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
鸿炉郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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