产品中心

立式双温区CVD系统

产品型号:KJ-TCVD1100-S40CK2

主要用途:该设备适用于CVD工艺,主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

在线咨询报价联系热线:177-3714-9370

图片点击可放大

设备介绍

       该立式双温区CVD系统主要由:1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速真空泵及相关连接件组成;设备下方加装定向轮和万向轮,设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺,主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。UDO高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 多段智能PID程序控温

    控温系统采用PID方式调节,多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步

  • 立式可开启结构

    双层壳体立式可开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

  • 优良的动密封系统

    不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空,同时连接3种气源至微正压

技术参数

设备名称 立式CVD系统
设备型号 KJ-TCVD1100-S40CK2
流化床管式炉部分
最高温度 1200 
工作温度 ≤1100
显示 LCD触摸屏
管径 40mm(外径)
管材 定制高纯石英管
炉管长度 约1100mm(以实际需要为准)
加热元件 优质加热丝
加热速率 0~10℃/min
温度控制 •多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步
•触屏多段智能PID程序控温  ,烧结数据可记录并以excel形式导出
•内置超温和热电偶故障保护
热电偶 N型热电偶测温
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套含密封
炉膛 双层钢制外壳,带双冷却风扇,双温区立式开启结构,取放炉管方便
炉膛材质为氧化铝耐火纤维,保温节能
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
工作电压 220V,50HZ
功率 6KW(以实际需要为准)
供气系统:3路质量流量控制系统
工作电源 220V/50HZ,最大输出功率18W
工作温度 5--45℃
最大气压 3*10^-6Pa
气体通道 可同时连接3种气源至微正压
流量计 质量流量计(可选其他量程)
A路量程 1SLM
B路量程 1SLM
C路量程 1SLM
气路压力 -0.1~0.15 MPa
精度 ±1%F.S
截止阀 不锈钢材质
气路连接管 1/4不锈钢管
真空泵+真空计系统
真空泵 2L/S抽速真空泵配硅胶软管可快速置换炉管内气体


 

 

 

在线留言

报价清晰 材料透明 省钱省心
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:微信

关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

在线咨询

获取报价

即刻留言

添加微信咨询报价

咨询热线
17737149370

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

177-3714-9370

扫一扫,关注我们