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产品型号:
主要用途:适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品优势
炉底滑轨式设计,可以左右移动炉子,使炉管暴露在室温环境下,得到快速的降温速率
炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,热稳定性好
双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
产品名称 | 石墨烯CVD生长炉 | |
型号 | KJ-1200-S60K1-3Z | |
滑轨管式炉 | 炉体结构 | 滑轨式 |
最高工作温度 | 1200℃ | |
持续工作温度 | ≤1100℃ | |
加热速率 | 最高20℃/min (建议10℃/min) | |
加热区长度 | 300mm 单温区 | |
加热元件 | 含钼电阻丝 | |
热电偶 | K 型 | |
控温精度 | ±1℃ | |
炉管直径 | Φ50,Φ60,Φ80都可用 | |
炉管材质 | 高纯石英管 | |
温度控制器 | PID智能程序控温 | |
真空法兰 | 真空法兰采用304不锈钢制作 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍 注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰 |
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输入电源 | 单相 220V, 50 Hz 功率:3KW | |
真空泵系统 | 旋片真空泵带数字真空计 (包含KF25接口和可移动箱体) |
极限真空度 10-3 Torr. 炉管内真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) 备注:用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组,分子泵组 |
质量流量计 |
3路高精度质量流量计: 量程:MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调 底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。 |
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注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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认证 | ISO认证、CE认证 | |
售后服务 | 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围) |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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