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产品型号:KJ-T1600-CVD
主要用途:广泛应用于半导体工业中,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜,该设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.
产品优势
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数
专利技术快接法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空充保护气体至微正压
产品名称 | CVD系统 |
产品型号 | KJ-T1600-CVD |
第一部分: 定制坩埚炉(蒸发系统) | |
使用温度 | 超过500℃ |
工作区尺寸 | Φ150 x H320mm(不锈钢内胆的有效尺寸) |
坩埚 | 310S不锈钢,形式及具体要求与客户确认 |
加热元件 | 电阻丝 |
升温速率 | 0-20°C/min |
漏率 | 20Pa/min |
第二部分:定制小管式炉(混气系统) | |
使用温度 | 超过500℃ |
工作区尺寸 | Φ150 x H200mm(不锈钢内胆尺寸) |
混气罐 | 310S 不锈钢 |
加热元件 | 电阻丝 |
漏率 | 20Pa/min |
第三部分 1600度管式炉(反应器) | |
最高温度 | 1600℃ |
长期工作温度 | 1500℃ |
炉管尺寸 | OD100/ID90,加热区300mm |
炉管材质 | 高纯氧化铝管 |
加热元件 | 硅钼棒 |
漏率 | 20Pa/min |
真空度 | 抽真空度到-7*10-3Pa 压力范围不超过0.02MPa |
更多参数可根据需求定制 |
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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。
主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。
科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!
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