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CVD系统

产品型号:KJ-T1600-CVD

主要用途:广泛应用于半导体工业中,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜,该设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.

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设备介绍

       该设备由蒸发器、混合器和反应器组成。采用氧化铝纤维耐火材料。设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,30段可编程温控系统,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数。该CVD高温炉广泛应用于半导体工业中,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜,该CVD镀膜设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。Ibi高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • PID控温系统

    控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

  • 触屏操作方式

    气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数

  • 专利技术法兰

    专利技术快接法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空充保护气体至微正压

技术参数 

产品名称 CVD系统
产品型号 KJ-T1600-CVD
第一部分: 定制坩埚炉(蒸发系统)
使用温度 超过500℃
工作区尺寸 Φ150 x H320mm(不锈钢内胆的有效尺寸)
坩埚 310S不锈钢,形式及具体要求与客户确认
加热元件 电阻丝
升温速率 0-20°C/min
漏率 20Pa/min
第二部分:定制小管式炉(混气系统)
使用温度 超过500℃
工作区尺寸 Φ150 x H200mm(不锈钢内胆尺寸)
混气罐 310S 不锈钢
加热元件 电阻丝
漏率 20Pa/min
第三部分  1600度管式炉(反应器)
最高温度 1600℃
长期工作温度 1500℃
炉管尺寸 OD100/ID90,加热区300mm
炉管材质 高纯氧化铝管
加热元件 硅钼棒
漏率 20Pa/min
真空度 抽真空度到-7*10-3Pa
压力范围不超过0.02MPa
更多参数可根据需求定制

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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