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1200℃高温真空CVD设备

产品型号:KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S

主要用途:高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

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设备介绍

      KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高温真空CVD设备KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以对多种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。j6t高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 j6t高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司

产品优势

  • 双层内胆炉壳,配有风冷系统,快速升降温

    整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度很高,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉

  • 多晶纤维炉膛,节能耐腐蚀

    重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求

  • 微电脑PID控制器,操作简便

    操作简便,控温准确、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行

技术参数

结构 采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于55°C
加热元件 掺钼合金加热丝
工作温度 1100°C
最高温度 1200°C
最大升温速率 20°C/min
加热区长度 400mm (18")
恒温区长度 180mm(+/-1°C)
温控系统 一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。
控温精度  +/-1°C
炉管材质和尺寸 石英管           ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm 
密封法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min
输入电源 AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
真空泵和配件 真空泵:一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr 
标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计(测量范围: 0.1mtorr ~ 850 torr)
气体流量计 4个浮子流量计,可同时混入4种不同气体。 
四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口
MFC 1范围 0~100 sccm
MFC 2和3 0~500 sccm
进气接口 1/4NPS
出气接口 1/4NPS    
产品尺寸 外径80 & 1000mm 的氧化铝石英管 
炉体尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
混气系统:: 600 x 600 x 700mm 真空机组: 600 x 600 x 700mm

标准配件:

浮子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份



注:坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
 5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
 6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

 

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