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摇臂式集成控制PECVD设备

产品型号:KJ-PECVD-L

主要用途:科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长,,如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅(a-Si:H)。

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设备介绍

科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。通过射频电源将石英真空室中的气体改变为离子状态,等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长。8k7高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 更好的沉积效率

    PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

  • 所需温度更低

    PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

  • 成品质量好

    具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

产品名称 摇臂式集成控制PECVD设备
产品型号 KJ-PECVD
第一部分滑轨管式炉部分
炉管尺寸 Φ25mmX1600mm(最终长度取决于最终设计)
炉管材料 石英管
加热区 200+200mm (双温区)
工作温度 ≤1100°C
最高温度 1200°C 
温度控制方法 K型热电偶
控制方式 触摸屏控制,带独立摇臂,可根据实际需要调节温控屏角度,使用更方便
温度控制精度 ±1℃
温度控制保护 具有过热和烧毁保护功能
加热速率 建议≤10ºC/min,最大20ºC/min
加热元件 电阻丝
工作电压 交流220V单相50HZ/60HZ(电路电压用户可选择定制)
加热功率 4KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
炉膛结构 炉体有滑轨,可实现快速加热和冷却
真空法兰 标准配置配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 炉管和法兰采用硅胶O型圈挤压密封,拆卸方便,可反复拆卸,气密性好。
外壳 碳钢或不锈钢外壳
可选 辅助冷却风扇
第二部分真空系统部分
名称 真空系统
主要参数 1.采用中国品牌高真空分子泵组,极限真空度可达6.7x10-3pa(空冷状态)
2.KF25快速连接,不锈钢波纹管,手动挡板阀和法兰,真空泵连接;
3、数字真空显示,测量范围为5×10-50-150mbar,测量精度高
第三部分供气系统部分
名称 四通质量流量计
主要参数 四通道精密质量流量计:触摸屏控制、数字显示、自动控制
1、流量范围:MFC 1-MFC3:10-1000sccm可调 
MFC1:CH4 0-10sccm 
MFC2:H2 0-200sccm 
MFC3:0-200sccm 
MFC4:0-300sccm 
控制精度:±1.5%F.S。 
2.一个混合罐 
3.供气系统左侧安装4个不锈钢针阀,可手动控制4种气体; 
4.进风口和出风口:4进1出 
流量控制:LCD触摸屏 
注:不支持液体或腐蚀气体。
第四部分等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56兆赫+0.05%
操作模式 连续输出
RF输出阻抗接口 N型,内螺纹(50Ω)
功率稳定性 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 直流过流保护、功率放大器过温保护、反射功率保护
电源电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却法 空气冷却

 

 

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关于科佳

 

郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

售后服务

 

 1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
 2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
 3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
 4、我公司技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
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