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1100度双温区滑道CVD

产品型号:KJ-TCVD1100-S60CK2

主要用途:这款双温区滑道CVD管式炉采用滑道设计,可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热;可同时连接6种气源,气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。该高温CVD设备主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

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设备介绍

这款1100度双温区滑道CVD系统主要由管式炉、高真空分子泵真空系统、6路质量流量计供气系统及其它连接件等组成;炉底采用滑道设计,可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热;可同时连接6种气源,气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。该高温CVD设备主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。ZKQ高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
ZKQ高温箱式电阻炉,管式炉,真空退火炉,真空烧结炉,管式高温炉-郑州科佳电炉有限公司
 

产品优势

  • 拿取炉管方便

    该炉体采用上下“分-合”结构,易于取放炉管

  • 温场均匀

    炉膛内部设计有对流栅格,炉体内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀

  • 安全防烫

    整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,炉体表面可以安全触摸无滚烫感觉

  • 加热均匀

    炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布,并且发热元件已做内嵌式固化,加热时热能辐射均匀温和

  • 气体控制精准

    气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制

  • 真空度高

    高真空分子泵机组可对炉管进行快速置换气体、实现管内高真空

技术参数

产品名称 CVD系统
型号 KJ-TCVD1200-S60CK2
双温区滑道管式炉部分
炉膛模式 开启式
炉体滑动 可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 含钼加热丝
极限温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 ≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区 双温区
温区总长度 200+200mm
炉管材质 高纯石英
炉管直径 60mm
密封方式 不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
其中一端用方便进出物料的快接法兰,预留进气品和出气口
控制模式 多段智能PID程序控温
测温元件 K型热电偶
报警 有超温和断偶报警
供电电源 220V    50HZ
供气系统 KJ-6Z 
工作电压 220V/50HZ
最大输出功率 18W
工作温度 5--45℃
最大气压 3*106Pa
气体通道 可同时连接6种气源
质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内
流 量 计 质量流量计(可选其他量程   不影响价格)
A路量程  0~300SCCM
B路量程  0~300SCCM
C路量程 0~300SCCM
D路量程 0~300SCCM
E路量程 0~300SCCM
F路量程 0~300SCCM
气路压力 -0.1~0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 不锈钢管
 真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵+数显真空计 分子泵机组及相应连接管件     
220V/50HZ
底部安滑轮方便移动,上方可放置高温炉极限真空度可实现6.67*10-3pa
随机配件 石英炉管1根、真空法兰1套、炉管堵塞2个、O型密封圈、防护手套1副、坩埚钩1把、聚四氟管3米、内六角扳手2把、说明书1份。
 

 

 

 

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郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;产品型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

  主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

科佳郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

 

 

 

 

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